Hiden Analytical Europe GmbH薄膜、等离子和表面工程产品
Hiden Analytical Europe GmbH薄膜、等离子和表面工程产品
Hiden Analytical Europe GmbH薄膜、等离子和表面工程产品
HPR-30系列
用于真空工艺气体成分、污染监测和泄漏检测的原位差动泵送气体分析仪。HPR-60 MBMS
别名
Hiden Analytical Europe GmbH薄膜、等离子和表面工程产品
品牌：
Hiden Analytical Europe GmbH
产地：
德国
产品介绍
产品咨询
薄膜、等离子和表面工程产品
HPR-30系列
用于真空工艺气体成分、污染监测和泄漏检测的原位差动泵送气体分析仪。HPR-60 MBMS
HPR-60 MBMS(分子束质谱仪)针对正(+ve)和负(-ve)离子以及中性和自由基的分析进行了优化，是等离子体和燃烧分析的强大解决方案。
HMT
用于真空诊断和过程监控的双模式RGA系统，无需差动泵送。测量残余气体、过程污染物并提供泄漏检测。
EQP系列
EQP系统是用于等离子体详细研究的组合质量和能量分析器。EQP系统提供正负等离子体离子、中性离子和自由基的高灵敏度分析。
脉搏间隔调制（pulse spacing modulation的缩写）
PSM系统是质量和能量分析仪与在线能量分析仪的组合，用于等离子体诊断——识别等离子体化学中的关键成分和反应动力学。
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